Алекс Глад – Код ЗАСЛОНа - 1. Тишина в цепях (страница 5)
— Ни горба, ни наводки. Чистый сигнал, — сказал Алексей, откидываясь на спинку стула. — Значит, аномалия не в тестовом стенде и не в измерительной цепи. Всё дело в чипах.
— А в чём же? — Лёня облизал пересохшие губы.
— В трёх, которые мы нашли. Покажи-ка их серийные номера.
Лёня перелистнул страницы журнала — бумага была тонкой, почти прозрачной, с синими типографскими линиями. Он ткнул пальцем в записи, обведённые красным карандашом.
— #4773-А, #4773-Б, #4773-Ж. Из одной кассеты, соседние кристаллы. По документации — все три прошли входной контроль. Признаны годными к эксплуатации.
— Кто проверял?
Лёня покраснел, поправил очки. Стекла блеснули, отражая люминесцентные лампы.
— Я… я их проверял. Визуально под микроскопом — никаких дефектов. Параметры — в допуске. Но я не грел до восьмидесяти пяти, у нас же регламент — шестьдесят.
— Лёнь, это не к тебе претензия, — голос Алексея был усталым, но без раздражения. — Ты делал по инструкции. Вопрос в другом: что изменилось в этих трёх? Почему у них появились свойства, которых не может быть по документации? Что заставило их вести себя как одно целое?
Лёня помялся, покусывая губу. Нижняя губа уже припухла от напряжения.
— Может, брак?
— Брак повторяется одинаково на трёх образцах? — Алексей приподнял бровь, и в глазах мелькнула холодная усмешка. — Вероятность — десять в минус восьмой. Если не меньше. Даже если бы у нас была самая дырявая технология на свете, шанс такой — один на сто миллионов. Это не брак, Лёня. Это что-то другое.
Он взял пинцет, подхватил чип #4773-А и направился к электронному микроскопу. СЭМ-215 — старая машина, восстановленная из двух полусгоревших экземпляров. Алексей сам менял в ней высоковольтный кабель, прожжённый при коротком замыкании, чистил вакуумные камеры от наслоений окиси, калибровал детекторы по эталонному образцу, который хранился в отдельном эксикаторе. Она гудела ровно, успокаивающе, тихо, как холодильник из до«Молчания» времён. Трансформатор в блоке питания пел на частоте 50 герц, и этот звук Алексею казался колыбельной.
— Лёня, подай-ка держатель для кристаллов. И включи запись. Включи полный цикл, чтобы записывалось всё: положение столика, увеличение, фокус.
Техник пододвинул столик-манипулятор, подключил внешний монитор. На нём тут же засветилось окно захвата — чёрное, с белыми цифрами координат. Алексей закрепил чип на предметном столике, затянул вакуумный захват. Присоска мягко чмокнула, встав на место. Закрыл крышку камеры — раздалось мягкое шипение, когда насосы начали откачивать воздух. Давление падало, насос жужжал с нарастающей частотой, и наконец система перешла в режим готовности. Зелёная лампочка на панели загорелась ровным светом. Он включил пучок: разгонное напряжение 20 кэВ, ток пучка — 0,5 нА, достаточное для чёткого изображения, но не слишком агрессивное для тонких слоёв металлизации. Пятно электронного луча разогналось, и на экране проступила серая рябь.
— Увеличение пятьсот, — продиктовал он, поправляя фокус. — Старт сканирования.
На экране проступила топология: 14-й слой металлизации, алюминиевые дорожки, тёмные на светлом фоне оксида кремния. Дорожки выглядели как извилистые реки на космическом снимке: плавные изгибы, острые углы переходов, контактные площадки — квадратные островки. Алексей медленно водил крестовиной по полю, осматривая каждый участок: левый верхний угол, центр, правый нижний. Его большой палец лежал на джойстике, едва заметно подрагивая от напряжения.
— Что ищем? — спросил Лёня, заглядывая через плечо. Его дыхание было горячим и частым.
— Лишнюю дорожку. Ту, что я видел вчера — но тогда было плохое разрешение из-за засветки. Сейчас посмотрим внимательнее. Она где-то в районе резервного контакта, который по документации должен быть изолирован.
Он сместил область сканирования к правому верхнему углу, туда, где по CAD-файлу располагался резервный контакт. В оригинальной топологии этот контакт никуда не был подключён — висел в воздухе, изолированный от остальных цепей, и использовался только как технологическая метка. На изображении он увидел не просто контакт. От него отходила тонкая дорожка — ширина 0,09 микрона, длина около 15 микрон. Она вела от медной площадки в никуда, заканчиваясь закруглённым тупиком без всякого перехода на другие слои, без отверстия для межслойного соединения. Просто линия, упирающаяся в пустоту.
— Вот, — Алексей ткнул пальцем в экран, оставив на стекле жирное пятно от подушечки. — Видишь?
Лёня прищурился, поправил очки. Его глаза расширились, когда он разглядел детали.
— Она… неровная. Края не резкие, как при травлении. Скорее наросшая, как сталактит.
— Именно. При травлении края были бы вертикальными или с небольшим скосом. А здесь — наплывы, утолщения, микронеровности. Это что-то вроде электромиграции. Металл перераспределился под действием электрического поля и температуры, как вода, которая просачивается через трещины в плотине.
— Но питание же не подавали! Только тестовые прогоны при комнатной температуре. Где там поля?
— Значит, что-то пошло не так ещё при термообработке. Высокая температура сама по себе может вызвать диффузию, если были внутренние напряжения.
Алексей включил режим измерения профиля. Лазерный датчик пробежался по поверхности дорожки, испуская тонкий красный луч, и выдал цифры на экран. Возвышение над окружающей поверхностью — 0,02 микрона. Почти в два раза больше, чем у линий, нанесённых фотолитографией. Такое не могли сделать ни при травлении, ни при напылении. Это был как шрам на кремнии — след какой-то старой травмы, зажившей неправильно.
— Это не бросовый брак, — сказал он, отодвигаясь от микроскопа и потирая глаза. — Это результат какого-то процесса внутри кристалла. Не дефект маски, не сбой экспонирования. Что-то выросло из самого кремния, из его внутренней структуры.
Лёня смотрел на экран, на странную дорожку, не в силах отвести взгляд. Он моргнул несколько раз, будто пытался прогнать наваждение.
— Алексей Иваныч… это невозможно. Чип герметичен. Корпус керамический, залит компаундом. После того, как закрыли крышку и заполимеризовали, ничто не может попасть внутрь или вырасти. Физически не может.
— Не могло. Но выросло. Значит, есть механизм, которого мы не знаем. Может быть, это не внешнее загрязнение, а перестройка самих атомов. Фазовый переход в твёрдом теле, о котором не пишут в учебниках.
Алексей выключил пучок, дождался, пока на экране погаснет последний отсвет, и открыл вакуумную камеру. Тёплый воздух ворвался внутрь, и чип слегка звякнул, остывая. Он вынул чип пинцетом, положил в пенал, защёлкнул крышку. Вернулся к столу, сел, уставился на пеналы, выстроенные в ряд. В голове шумело — не от усталости, а от напряжения, от попытки натянуть новую реальность на старые схемы. Он чувствовал, что стоит на пороге чего-то, что не вписывается в привычную картину мира, и это пугало и притягивало одновременно.
— Сбегай-ка в архив, — сказал он тихо. — Принеси всю партию, из которой это взяли. И журнал термообработки за прошлый месяц. Посмотрим, была ли какая-то аномалия в режимах печи.
Лёня уже открыл рот, чтобы спросить зачем, но передумал. Он знал этот тон — спорить бесполезно. Кивнул, быстро вышел, его шаги застучали по коридору, удаляясь и затихая в гуле вентиляции. Алексей остался один.
Чистая комната наполнилась тишиной, нарушаемой только гулом вентиляции и высоким писком ламповых вольтметров. За стеклянной панелью, выходящей в коридор, промелькнула серо-голубая фигура уборщицы тёти Гали. Она толкала тележку с вёдрами и швабрами, не глядя по сторонам, занятая своей вечной борьбой с пылью. Люди входят и выходят, не подозревая, что в этой комнате, на этом столе, лежит нечто, способное перевернуть их представления о реальности. Алексей потёр переносицу, закрыл глаза. Мысленно он перебирал варианты, раз за разом возвращаясь к одному и тому же.
Первый — технологический брак. Маловероятно. Повторяющаяся структура на трёх независимых кристаллах при общем объёме партии в сотни штук — шанс один на сто миллионов. Даже для старого завода с его допотопным оборудованием такое не случалось. Скорее молния ударит в это здание дважды за день.
Второй — преднамеренная закладка. Кто-то специально модифицировал топологию до герметизации. Но кто? И зачем? У них не было оборудования для субмикронной правки. Восстановленные фабрики, на которых делали эти чипы, не могли обеспечить такую точность. И не было никакого экономического смысла вкладывать такие усилия в мелкую партию.
Третий — природный эффект. Алексей вспомнил старые журналы за 2020-е годы, которые иногда попадали в руки благодаря чёрным перекупщикам на Ржавом углу. Тогда, ещё до цифрового коллапса, физики экспериментировали с управляемыми дефектами в кремнии — создавали квантовые точки, используя дивакансии, легирование редкоземельными металлами. Но проект свернули из-за невоспроизводимости результатов. Слишком сложно было контролировать поведение дефектов, заставить их взаимодействовать предсказуемо. А здесь — выросло само. Без внешнего вмешательства. Без программирования. Просто кремний решил заговорить.
Значит, нужны дополнительные данные. Много данных. Алексей достал из кармана блокнот в клеёнчатой обложке, отточенный простой карандаш. Записал размашистым, почти стенографическим почерком, выводя буквы с нажимом: